I componenti principali di un microscopio elettronico a scansione includono:
Sorgente di elettroni – Qui è dove gli elettroni vengono generati termicamente a una tensione di 1-40kV. Gli elettroni si condensano in fasci che vengono utilizzati per creare immagini e analisi simulate. Possono essere utilizzati tre tipi di sorgenti di elettroni. e filo di tungsteno, esaboruro di lantanio e pistola a emissione di campo (FEG)
Lenti – Ha diverse lenti a condensatore che focalizzano il fascio di elettroni dalla sorgente attraverso la colonna in un raggio stretto, formando un punto chiamato dimensione dello spot.
Bobina di scansione: utilizzata per deviare il raggio sulla superficie del campione.
Rivelatore – è costituito da diversi rivelatori in grado di distinguere tra elettroni secondari, elettroni retrodiffusi ed elettroni retrodiffusi. La funzionalità del rivelatore dipende fortemente dalla velocità della tensione e dalla densità del campione.
Dispositivo di visualizzazione (dispositivo di output dati)
Alimentazione elettrica
Sistema di vuoto
Come un microscopio elettronico a trasmissione, un microscopio elettronico a scansione dovrebbe essere esente da vibrazioni e da qualsiasi elemento elettromagnetico.
